二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9399261 待售

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ID: 9399261
晶圓大小: 12"
優質的: 2009
Poly etcher, 12" Signal tower (3) Loadport ATM Robot (13) Buffer station Aligner Loadlock: 2LL / (4) Slot cool chamber Robot: Brooks megatran 7 Rocker: 853-007859-9223 / MKS 640 LL Pressure gauge: Hasting Power supply: 208VAC, 3 Phase / 4 Wires, 500 AMPs, 50/60Hz. 2009 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45是生產半導體晶片的高速高效等離子體蝕刻/灰化設備。即使是最復雜的結構,包括致密和直接陣列的晶體管,它也能幹凈準確地處理。該Kiyo45具有先進的組件,包括雙旋轉源、高達每小時200個晶圓的高吞吐量、多運行溫度控制、改進的晶圓預對準精度以及輕松、全自動的系統集成到現有生產線中。該Kiyo45采用雙源等離子體蝕刻/灰化工藝生產具有先進特性和精確度的半導體晶片。這個過程開始於將一個多達200個晶片的蠟燭棒堆棧裝入Kiyo45。然後,該單元的雙旋轉源產生一個高能等離子體,該等離子體被精確控制,以實現可重復性和準確性。這種等離子體通過嵌入的靜電屏蔽直接穿過晶片,去除所需的材料。此外,Kiyo45的溫控機可以用來精確調整蝕刻速率和選擇性,讓用戶對自己的過程進行微調以獲得最佳效果。此外,該Kiyo45旨在提高預對準精度。Kiyo45使用內置圖像識別技術來準確識別單個晶片並在蝕刻前對其進行對齊。此高級工具消除了手動對齊的需要,從而減少了潛在的對齊錯誤。該Kiyo45還包括快速的蝕刻後完整性檢查,確保所有加工晶片的質量。ONTRAK 2300 Kiyo45是高級蝕刻/灰化工藝的理想選擇。它具有最先進的元件和先進的特性,可以輕松高效地生產出高精度的半導體晶片。資產的雙旋轉源和溫度控制模型允許用戶精確控制蝕刻過程,提供無與倫比的結果。此外,其自動晶片預對準和後蝕刻檢驗過程確保了所有離線產品的質量保證。最後,Kiyo45是任何蝕刻/灰化工藝的理想選擇。
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