二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9407033 待售
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LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45是一種高效可靠的蝕刻器/灰塵設備。它是一個多室平臺，可以在單個晶片上處理多種工藝，設計目的是滿足商業和軍事應用生產和開發的嚴格要求。Kiyo45系統有幾個多用途的房間，有一套全面的功能和特點。它具有單個打擊式真空泵和高壓等離子體源，可以完成各種材料表面的蝕刻、灰燼和介電塗層工藝。這種特性的組合使得它非常適合廣泛的專業應用，如硬面膜蝕刻、氣隙沈積、小孔或深特征形成以及傳感應用。該單元配有一套廣泛的加工室，包括前室、主加工室、後蝕刻/灰室、後蝕刻/灰/介電室以及專用PDMS幹燥室。機器提供了一個高級的靈活性級別，允許廣泛的過程參數，包括獨特的配方，可以創建和存儲在配方庫。交替壓力主加工室能夠達到高達1000 mT，以容納各種各樣的基材類型和蝕刻配方。Kiyo45工具采用集成的過程控制和用戶權限資產進行設計,使操作員能夠定制介電蝕刻、灰分和沈積配方,以滿足其特定的工程需求。這還得到內置電源監控模型的進一步支持,該模型允許用戶監控設備的功率輸出並進行相應調整,以確保安全的過程和最佳的結果。此外,系統還配備了數據記錄和分析軟件,使操作員能夠跟蹤和分析與這些過程相關的過程參數,如基材溫度、薄膜厚度和蝕刻速率。ONTRAK 2300 Kiyo45是一個先進而高效的蝕刻器/asher單元,非常適合各種生產和開發應用。設計具有一套全面的功能和特點，這臺機器能夠精密地完成各種工藝參數。憑借其先進的流程控制和用戶訪問工具，以及數據記錄和分析軟件，該資產是任何蝕刻和灰燼模型需求的理想選擇。
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