二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300e4 Kiyo EX #293804189 待售
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LAM RESEARCH/ONTRAK 2300e4 Kiyo EX是一款尖端蝕刻/asher設備,結合了最新的技術進步,提供了半導體制造方面的卓越加工能力。該系統專為滿足大批量生產環境的苛刻要求而設計,同時確保精度、可靠性和效率。主要功能:1.等離子體蝕刻能力:ONTRAK 2300e4 Kiyo EX配備了先進的等離子體蝕刻技術,能夠從半導體基板中精確去除材料。該裝置利用高能等離子體和反應性氣體的組合,有選擇地蝕刻晶圓上的特定區域,從而可以微調蝕刻剖面和深度。2.Ashing功能:除了等離子體蝕刻,Kiyo EX機器還提供去除殘留物和表面清潔的Ashing功能。灰化過程涉及利用高能等離子體去除晶片表面的有機汙染物和副產品,確保設備性能和產量的最佳。3.工藝靈活性:Kiyo EX工具用途廣泛,支持各種用於蝕刻和灰化應用的工藝配方。用戶可以輕松編程和定制氣體流速、腔室壓力和射頻功率等過程參數,以實現所需的蝕刻速率和選擇性,並具有卓越的可重復性。4.均勻性和控制性:資產經過精心設計,可在整個晶片表面提供出色的工藝均勻性,確保從晶片到晶片的蝕刻輪廓和設備特性一致。先進的過程控制機制,如端點檢測和實時監控,能夠精確控制蝕刻過程,增強整個過程的穩定性。5.吞吐量和生產率:Kiyo EX模型專為高吞吐量操作而設計,能夠同時處理多個晶片,從而在生產環境中最大限度地提高生產率。該設備具有快速的周期時間、高效的晶圓處理機制和自動化的過程序列,可最大程度地減少停機時間並提高整體制造效率。6.可靠性和維護:ONTRAK以生產高質量、可靠的半導體加工設備而聞名,Kiyo EX系統也不例外。該設備配備了強大的組件、高級診斷程序和遠程監視功能,可確保正常運行時間並最大程度地減少維護需求,從而降低了擁有成本。7.兼容性和集成:Kiyo EX機器旨在無縫集成到現有的半導體制造系列中,提供與行業標準自動化接口和軟件協議的兼容性。這有助於在生產環境中輕松設置、操作和與其他設備交換數據,簡化工作流程並提高總體制造效率。最後,LAM RESEARCH 2300e4 Kiyo EX是一款集先進的等離子體加工技術、優越的工藝控制、高生產率等特點於一體的先進蝕刻/asher工具,滿足了現代半導體制造的嚴格要求。憑借其創新的功能、過程的靈活性和可靠性,Kiyo EX資產是需要精確高效的物料清除和表面清潔過程的大批量生產環境的理想解決方案。
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