二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589469 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一種幹式蝕刻器或灰化器，提供高效、均勻的等離子體蝕刻或灰分沈積工藝。這一高通量處理單元是用於半導體、MEMS和電子工業的等離子體蝕刻、灰分沈積和透晶片均勻工藝的可靠解決方案。ONTRAK Kiyo 45具有兩區加工室，有一個大的主加工室和一個較小的第二室，用於預清潔和後清潔處理。主室具有平整的蝕刻目標級，能夠支撐多達20個基板。目標級還具有基片到晶圓的映射功能，以確保整個晶圓的均勻沈積。該裝置還包括石英襯裏和原位等離子體清洗系統，用於精確控制蝕刻或沈積速率和均勻性。LAM RESEARCH Kiyo 45可以使用無真空或高真空工藝操作。可以使用廣泛的氣體和氣體混合組合，允許加工GaAs、SiGe、AlN和類似金剛石的碳等材料。該系統還包括一臺自動射頻/直流發電機，可精確控制蝕刻或沈積速率。在安全性方面，Kiyo 45在緊急情況下具有自動關閉功能，而內置真空監控器和離子敏感探測器則為蝕刻過程提供了一種放手的方法。此外，多種安全特性，如氣體泄漏監控器、無火花凈化閥和高頻泄漏檢測器，為裝置的整體安全性增添了活力。最後，LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一種交鑰匙蝕刻器/灰化器，旨在為廣泛的應用提供高效、可靠和均勻的等離子體蝕刻或灰分沈積工藝。ONTRAK Kiyo 45的安全性和吞吐量特點,以及其易於使用和集成到各種生產和研究操作中,使其成為尋求可靠的高吞吐量蝕刻或沈積工藝的用戶的絕佳選擇。