二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589528 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款蝕刻器/灰燼器，設計用於對III-V元件、超薄晶片、矽集成電路（IC's）等高價值基板進行精密濕蝕刻。這種最先進的蝕刻器/分類器為重新設計和修改現有產品的自上而下的功能提供了解決方案,並實現了高級設備體系結構的潛力。ONTRAK Kiyo 45由兩個主要部件組成-工藝室和控制設備。加工室是一個精密制造的不銹鋼外殼，包含激發源和熱區，並利用再循環蝕刻溶液。其設計特點包括滿足高性能真空需求的不銹鋼外殼、最小化振動的懸掛重量系統和針對最高溫度均勻性進行優化的底板。由雙激發源產生的高性能噴水噴射羽流對易損害集成電路（IC）材料具有良好的對齊和可重復的特征幾何形狀,具有低溫處理能力。LAM RESEARCH Kiyo 45的控制單元由高性能、嵌入式自動化引擎、實時監視器和安全聯鎖機組成。該工具提供了對從A到Z的蝕刻過程的全面控制,包括配置文件和一步過程設置、實時過程監視和控制、用於保護的資產和硬件級別聯鎖,以及用於高價值基板蝕刻的幾種高級過程配方。用戶友好的圖形界面可方便地訪問流程參數,實時顯示流程狀態,並提供所有流程參數的完整診斷。Kiyo 45符合CE標準,完全自動化,並且需要最少的操作員幹預,以確保可重復性和過程重復性。該蝕刻器可有效地用於對現有組件進行高精度的重新設計和修改,並實現需要深層特征的設備體系結構。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45還提供安全聯鎖模型和嵌入式監控功能,有助於確保一致、高質量的結果。此外，它還可以有效地用於地溝蝕刻、晶圓稀釋、光掩模修復和可靠的MEMS器件制造等各種應用。