二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589530 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款由業界領先者ONTRAK製造的精密蝕刻/asher設備。它采用了先進的氙等離子體技術，能夠對半導體晶片進行精確的蝕刻和灰化。ONTRAK Kiyo 45的專利設計利用RF發電機、渦輪泵、數字電子控制器等先進的機電元件，以卓越的精度和可重復性處理所需的基材。用戶界面直觀、人性化，使操作員能夠快速、輕松地選擇蝕刻和ashing參數、工藝配方等變量，實時監控系統性能。LAM RESEARCH Kiyo 45的等離子體源具有卓越的能效，在整個基板上提供出色的蝕刻速率和均勻性。射頻發生器堅固耐用,可提供高達15 kW的功率,而且質量蝕刻過程的能量損失很小。熱管理單元與Kiyo 45集成在一起,可在大型蝕刻/灰燼工作負載上快速周轉。這臺機器已被證明可以在大量蝕刻/灰燼體積的工作負載期間將晶圓溫度升高幅度降低到6°C。LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45由LAM RESEARCH Clario平臺提供支持,可實現高級配方開發和深度追蹤精度,以確保數據安全性和合規性。其廣泛的配方和工藝室工藝設計，以確保無論基材和所需的參數，ONTRAK Kiyo 45可以提供。LAM RESEARCH Kiyo 45是一款可靠、功能強大的蝕刻/asher工具。它非常適合廣泛的蝕刻和灰化應用，從研發到批量生產，從MEMS設備到先進的半導體產品。憑借其無與倫比的精度、性能和可靠性水平，Kiyo 45是材料加工的完美選擇。