二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589654 待售
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LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款高級蝕刻師/asher。它提供卓越的性能、較低的每晶片成本和可靠的蝕刻/灰化工藝。ONTRAK Kiyo 45是一種高速、多區域蝕刻/灰燼,能夠從直徑2英寸到8英寸蝕刻/沖洗晶圓。它配備了雙區腔室和允許高通量和低循環時間的大型加工腔室。雙區域腔室提供高精度、一致的蝕刻/灰化參數。LAM RESEARCH Kiyo 45提供高級工藝控制功能。它配備了一個可編程的、伸縮的輸送機,將晶片移入加工室。這種輸送機可以被編程為在各種位置移動和保持晶片,從而為蝕刻/灰燼提供精確和可重復的定位。Kiyo 45還具有種類繁多的基材,包括石英、多晶矽、矽、金屬和電介質。它支持高達950°C的工藝溫度和高達170 torr的壓力。LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45能夠同時進行批處理和單晶圓處理。它具有遠程流程監視功能,使用戶能夠從遠程位置監視流程進度。ONTRAK Kiyo 45還具有真空過程壓力控制、閉環腔室溫度調節、閉環過程化學控制等特點。它配備了最先進的彩色圖形用戶界面和可選的Windows計算機控制器。LAM RESEARCH Kiyo 45專為最高可靠性而設計,並有全面的保固作為後盾。其設計基於先進的工藝集成,便於維護和操作。它還具有高級診斷功能,能夠快速準確地進行故障排除。總體而言,Kiyo 45是一款功能強大、可靠且經濟實惠的蝕刻器/asher,可為各種流程提供卓越的性能和附加值。
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