二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293652871 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款為各種材料加工而設計的asher/etcher。它有一個直觀的自動化控制系統，一個先進的源/目標室能夠工作基板500毫米的尺寸，和先進的數字計量精密處理。利用ONTRAK獲得專利的傳感器融合技術實現的先進數字計量包自動調整了配方的準確性和可重復性參數。ONTRAK Kiyo 45具有先進的源/目標室，能夠工作的底物尺寸可達500毫米，化學種類廣泛。它還配備了連續實時評估過程狀態的過程窗口監控包，其過程控制系統（PCS）自動調整任務參數，以提高可重復性和質量。可采用微型真空、遠程真空和溫度均勻性等先進氣流控制配件的附加封裝，進一步優化工藝性能。LAM RESEARCH Kiyo 45具備業界領先的功能,能夠實現業界領先的準確性和可重復性。其先進的材料兼容性和工藝控制功能使用戶能夠針對技術上具有挑戰性的材料和基材優化蝕刻速率。它支持廣泛的蝕刻化學，因此可以用於所有類型的蝕刻應用。此外,它的自動端點檢測功能能夠更快地檢測蝕刻端點和更一致的產量。Kiyo 45是為最大的正常運行時間和運營效率而設計的。它采用革命性的低維護設計,能夠快速輕松地清潔組件,而且維護的停機時間最短。此外,它的高級計量套件使用戶能夠快速評估過程結果,從而最大限度地減少了對校準或配方調整的需求。總體而言,LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款功能強大且可靠的蝕刻器/asher,旨在處理多種材料。其先進直觀的控制系統、廣泛的化學、工藝窗口監控以及革命性的低維護設計，使其成為精密加工和提高運行效率的理想選擇。