二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9098962 待售
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已售出
ID: 9098962
Poly etcher, 12"
Signal tower: (3) Colors
SMIF(EFEM)
(3) Poly etch chambers
(1) MWAVE STRPR
(3) Load ports
(1) ATM Robot
(1) Buffer station
(25) Slots
(1) Aligner
(2) Load locks
(4) Slot cool chamber
Megatran7 / Broooks transfer robot
Etch chamber
TM Pressure gauge: HPS Series907 / MKS
TM Pressure control: MKS Series640
LL Pressure gauge: Hasting
Model of chamber: 2300 Metal
Model of pressure gauge: MKS, 0.1Torr
Model of throttle gate valve: 65048-PH52-ADR1 / VAT
Model of turbo pump: STP-XA2703CV/Edwards
Model of TCP RF generator: APEX1513 / AE
Model of bias RF generator: APEX1513 / AE
MW Chamber
Model of chamber: 2300 MWAVE STRPR
Model of throttle gate valve: MKA, 253B-24836
Model of vaporizer: MKS, VODMB33CRIBE
Model of MW generator: Revolution, 7690LAM-23
configuration of MFC: Ar 2SLM, O2 5SLM, N2 1SLM
Configuration of gas panel, etch chamber
Type of gas panel: 16-Line IGS block
(16) Gas channel
Model of MFC: SEC-Z313M
Configuration of gas:
CF4 50sccm
O2 20sccm
CL2 200sccm
CH2F2 50sccm
HBr 500sccm
He 500sccm
O2 200sccm
H2 100sccm
SF6 10sccm
Ar 500sccm
HBr 50 sccm
C2F6 200sccm
CF4 200sccm
SF6 200sccm
N2 100sccm
CHF6 200sccm
Configuration of AC rack:
208VAC 3ph (4) Wires 400 AMPS 50/60Hz
Missing parts: Load ports
2007 vintage.
LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45 Etcher/Asher是一種硬件，設計用來在基板上蝕刻或沈積薄膜。該單元是一種單室、單晶片設備，利用等離子體源技術，達到優越的蝕刻和灰化效果。它能夠處理各種晶圓尺寸，直徑從2英寸（50毫米）到8英寸（203.2毫米）。加工室是一個密封的不銹鋼外殼，裝有石英頂壁。這樣可以快速加熱和冷卻,並確保與腐蝕性和危險性材料兼容。該腔室具有獨特的雙板設計，可實現更好的工藝隔離和控制。它還配備了精密的壓力傳感器，以保持工藝的完整性和屈服。ONTRAK Kiyo 45還提供先進的等離子體源技術，產生廣泛的功率水平和工藝配方靈活性。它允許同時蝕刻和灰化,而不會損壞底物,並提供超薄膜蝕刻和沈積,以及定向和各向異性蝕刻。該機組還配備了堅固的真空系統，允許快速疏散和優化處理時間。LAM RESEARCH Kiyo 45擁有高度的自動化和操作員控制。它提供直觀的圖形用戶界面（GUI）和功能齊全的數據管理功能。它提供了先進的過程監控和跟蹤，以及詳細的配方召回和可重復性。與兼容的ONTRAK工藝套件配合使用時,Kiyo 45提供了完整的蝕刻和灰化解決方案。這包括電源、氣體輸送單元、視覺機器、射頻工具、電子機櫃和其他附件。憑借其強大的軟硬件組合，LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45可以蝕刻和沈積薄膜，從而取得優異的效果。
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