二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9281381 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款具有熱線技術的桶形蝕刻器，能夠蝕刻直徑達45mm的晶圓。設備配備了940升的腔室，可以方便高效地處理各種材料。該腔室還配備了集成晶片加載系統，允許一次最多自動放置12個晶片。ONTRAK Kiyo 45提供大小晶片的高精度蝕刻，這要歸功於它對溫度、壓力和流速等過程變量的優越控制。該單元配有自動張力控制機，確保晶片在蝕刻過程中固定到位。此外，可以對蝕刻循環進行精確編程，從而能夠精確控制蝕刻速率和表面光潔度。蝕刻過程是在真空中進行的，這樣可以實現蝕刻結果的最高精度和清潔度。該工具還配備了背面加熱器，可用於控制晶圓背面的溫度，確保兩側均勻蝕刻。LAM RESEARCH Kiyo 45還配備了一系列先進的安全功能，包括用於監測蝕刻氣氛的有源氧氣傳感器和緊急關閉閥。此外，該資產既節能又環保，因為它旨在減少廢氣和可回收化學品。除了蝕刻服務外，Kiyo 45還可用於多種其他服務，如塗層、金屬化、加熱加工等。該模型的靈活性使其成為許多制造和研究應用的理想選擇。