二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9298318 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款為半導體工業中的應用而設計的蝕刻器/asher。適用於對包括矽、銅、鋁在內的一系列材料的薄膜進行蝕刻，用於半導體器件的制造。ONTRAK Kiyo 45具有高達每小時4,500晶圓的高容量，使其成為市場上最高效的蝕刻器之一。該設備采用超低壓技術,可提供出色的蝕刻速率均勻性。通過控制蝕刻速率上下生成垂直輪廓，LAM RESEARCH Kiyo 45的原位RIE系統允許用戶同時蝕刻多層，顯著減少蝕刻周期時間。Kiyo 45還使用了一種獲得專利的恒壓蝕刻技術（CPET）,該技術可確保不管單位變化如何都具有一致的蝕刻速率,從而在市場領先的步驟覆蓋範圍和特征輪廓控制方面提供了極好的一致性。此外，LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45配備了高分辨率圖像查看器，以及高分辨率光發射光譜儀（OES）。OES工具提供實時流程監控，使用戶能夠監控蝕刻流程的進度。此外，ONTRAK Kiyo 45具有氣流控制資產，用戶可以精確控制蝕刻過程的參數，以確保最佳效果。LAM RESEARCH Kiyo 45還采用風冷室結構，有助於確保安全、清潔和可靠的操作。該模型由先進材料設備（AMS）構建而成,滿足了業界最高的性能要求。Kiyo 45還配備了一系列先進的安全功能，如遠程操作系統、自動化安全功能和可編程過程參數。總體而言,LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款先進的蝕刻器/灰化器,旨在滿足半導體行業最苛刻的蝕刻和灰化要求。其先進的AIR COELED結構、超低壓技術和高分辨率圖像查看功能使其成為任何半導體制造工廠中必不可少的工具。