二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9298319 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是為精密微加工應用而設計的先進蝕刻和灰化設備。ONTRAK Kiyo 45是一個集成系統,它將兩個獨立的過程（無功離子蝕刻（RIE）和深灰）結合在一個平臺中,以提供最大的工藝效率和性能。利用單個高壓處理室，該單元可以同時或單獨操作兩個過程，以實現多層膜蝕刻和灰化。LAM RESEARCH Kiyo 45的設計目的是在最大底物尺寸為6.5 「x 6.5」的情況下達到最佳工藝效果,並在蝕刻速率均勻的情況下實現高水平的可重復性。它具有AutoGain Control機器，每次都能保持過程室的功率，以改進過程控制和可重復性。增強的磁懸浮渦輪泵也降低了振動水平，以更精確的處理。Kiyo 45還提供了出色的蝕刻輪廓控制,因為它具有可調整的氣體流速,以及一個可編程控制器,它允許用戶單獨修改過程參數,如壓力、總流量和氣流組成。該工具還提供了存儲、召回和執行任意數量的用戶定義進程流的靈活性。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45除了提供精確的控制和高精度外,還為在處理過程中保護用戶、操作員和環境提供了許多安全益處。它具有三級監視傳感器監視資產,用於檢查流程每個階段的安全級別,以防止發生事故。該工藝室完全封閉在氮素覆蓋模型內，以確保操作過程中化學蒸氣的安全密封，其材料兼容性防止危險材料的潛在危害。ONTRAK Kiyo 45的集成過程控制設備提供直觀的用戶控制,以實現高效的操作和方便的維護。該系統還提供遠程訪問服務和改進，以及用於進一步分析蝕刻過程的高級測量工具。歸根結底,LAM RESEARCH Kiyo 45為微加工應用程序提供了可靠的平臺,為用戶提供了性能和靈活性卓越的高級蝕刻和灰化解決方案。