二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9299367 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款高效多用途的批量蝕刻器/asher,專為制造高質量、可靠的半導體器件結構而設計。ONTRAK Kiyo 45具有獨特和先進的蝕刻能力,專為生產復雜的器件幾何形狀而設計,能夠制造出最先進的半導體器件。LAM RESEARCH Kiyo 45配備了一個電源，能夠產生100kV的Vmax輸出電流，蝕刻速率高達30nm/min。電源還提供了可控的蒙版間隙和劑量參數，用於更精確的蝕刻和保形蒙版。先進的腔室和線圈設計提高了蝕刻圖樣的均勻性和最小化的粗糙度。Kiyo 45還具有最大120mm晶圓的較大腔室尺寸、更大容量的交流以及長達109秒的延長停留時間設置。LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45具有自動電動負載鎖和機器人晶片傳輸系統結合觸摸屏操作員界面，能夠高效處理晶片，操作方便。此外，操作員界面還提供晶圓位置和蝕刻狀態的實時反饋。先進的噴嘴控制允許寬光束角度,提供更高的蝕刻均勻性,以及更好的分辨率和更低的尖端損壞和漂移風險。ONTRAK Kiyo 45提供高度純度和安全性，具有集成的迷你潔凈室、低調和自動氣流控制系統以及集成的真空安全閥，以防止任何危險氣體泄漏。還提供了現場清潔和清洗系統，以消除來自外來顆粒的晶圓汙染。Kiyo 55也符合RoHS標準,可提供額外的安全和環境效益。LAM RESEARCH Kiyo 45是為高端半導體製造而製造的精密蝕刻/asher。Kiyo 45提供了一系列高級功能,例如自動電動負載鎖、改進的蝕刻圖案均勻性、延長的居住時間以及高水平的安全和純度。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是制造最先進的半導體結構和器件的完美器件，可靠性和準確性最高。