二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9311233 待售
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LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一種蝕刻器/ashier,設計用於光刻、光刻、晶圓制造和其他半導體制造。這種蝕刻器/ashier為基板上圖樣的開發提供了優越的工藝控制。該設備能夠提供精確、可重復的蝕刻和灰化結果,並具有最佳的蝕刻使用。它經濟高效且易於使用,並且可以快速設置和操作,而且培訓很少。ONTRAK Kiyo 45具有四室設計,包括專用的預蝕刻、蝕刻、灰燼和沖洗室。預蝕刻室允許將光刻膠的幹膜均勻塗抹到基材上,而蝕刻室則可在暴露於特定圖樣後蝕刻掉多余的光刻膠材料。灰室除去灰燼殘留物,最後沖洗室清洗淹沒基材,為下一步做準備。LAM RESEARCH Kiyo 45還包括獨特的軟件功能,以幫助支持整體蝕刻和灰化過程。該設備內置3D數據采集和分析軟件,可實現精確的模式識別和可重復的蝕刻/灰化操作。它還具有作業調度、配方重新映射、自動蝕刻/灰化優化和作業監控功能。軟件系統高度用戶友好,旨在使整個單元更易於使用和管理。Kiyo 45還提供多種物理和化學構型,以適應各種工藝要求。它配有精密的過程控制器、氣體輸送系統和拋物線天線。其先進的氣體輸送系統提供可靠的性能和精確控制蝕刻/灰化氣體流動。最後,其拋物線形天線為精密蝕刻應用提供了溫度控制環境。最後,LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款先進的蝕刻器/ashier,旨在提供優異的性能和準確的結果。它非常適合廣泛的工藝應用,從光刻到晶圓制造。該機器的精確、可重復的蝕刻/灰化功能、用戶友好的軟件套件以及先進的物理和化學配置使其成為半導體制造的理想選擇。
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