二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9314592 待售

LAMLAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一種在半導體加工中使用的蝕刻/asher設備。它是一個多用途的系統，設計為能夠做蝕刻，灰化，和光致抗蝕劑去除。該單元是一種傾斜型機器，具有三個處理室，每個處理室可用於執行各種任務。機器有清潔托架支撐工具、濕法加工模塊和幹法加工模塊。清潔托架支撐資產旨在處理晶片而不受環境汙染。這是通過使用去離子水、Class-100空氣過濾、離子植入器和半導體機器人，在不產生任何塵埃顆粒的情況下快速移動晶片通過腔室來完成的。ONTRAK Kiyo 45型濕法模組能夠進行多種濕法蝕刻及濕法灰化程序。這是通過包含高速泵、高壓輸送設備、地面故障保護系統和閥門集群而實現的。LAM RESEARCH Kiyo 45的幹法模組設計進行多蝕刻、灰化、清潔程序。它包括三個獨立的加熱器，每一個都可以用來維持不同過程的不同溫度。該單元還包括一個高速機器人，用於在腔室之間快速轉移晶片。Kiyo 45機使用方便，維護最少。它是由一種高級不銹鋼材料為耐用性和可靠性建造。該工具的控件和接口是直觀的,旨在使過程盡可能高效。資產還包括範圍廣泛的處理參數，可以根據最大結果進行精細調整。其設計符合所有行業標準和安全準則。總體而言，LAMLAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一個為半導體加工而設計的穩健的蝕刻器/asher模型。它是一種高效多用途的設備，可以在不影響質量的情況下執行一系列蝕刻和灰化程序。該系統還能夠通過精細的可調參數和直觀的控制系統實現極高的精度結果。對於尋求可靠、高效的蝕刻機/asher機的半導體制造商來說，這一單元是一個極好的選擇。