二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9314595 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一種自動化蝕刻器/asher，能夠進行等離子體蝕刻和蝕刻精度。它在微電子工業中用於創建微量的元件和器件，如多層芯片或量子計算元件。ONTRAK Kiyo 45設計有雙區真空室，能夠完整的端點探測。它配備了原位晶圓溫度機構，為蝕刻過程提供了準確、均勻的溫度。LAM RESEARCH Kiyo 45還設有一個可遠程調節的反應室，可靈活控制蝕刻參數。腔室的墻壁由高級合金構成，保證其耐腐蝕，並能承受嚴酷的蝕刻過程。此外，蝕刻器還配備了渦輪泵和軸驅動閘閥，具有無電機專利設計。這允許用戶控制沈積和濺射速率，並最大限度地減少晶圓處理所需的時間。Kiyo 45采用先進的兩通道電子控制器供電，界面直觀，為用戶提供全面的過程控制。它配備了端點確定、血漿參數自我診斷等多種診斷功能，以及廣泛的氣體和源輸送控制。此外,LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45還具有流程模擬功能,允許用戶在流程啟動之前預測流程的結果。ONTRAK Kiyo 45能夠容納多種晶圓尺寸，包括小晶圓以及直徑達八英寸的大晶圓。它能夠與集成負載鎖室同時處理多達兩個8英寸晶片。該蝕刻器還具有多切片蝕刻能力，可以更高效地生產復雜結構。綜上所述，LAM RESEARCH Kiyo 45是一種自動化的蝕刻器/asher，具有精密蝕刻和沈積精細微型器件的先進功能。它具有雙區真空室、原位晶圓溫度機構、可調節反應室以及具有直觀界面的電子控制器。Kiyo 45還能夠處理多種晶圓尺寸，並配有過程模擬，用於準確預測過程結果。