二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9315258 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款為半導體工業設計的蝕刻器/asher。它能夠在高溫下對半導體材料進行蝕刻和灰化處理。它對工程師友好的設計使其易於設置和操作,而且用戶培訓很少。對ONTRAK Kiyo 45的設計進行了優化，以實現高質量、高速的工藝性能。利用高溫石墨蒸發源對基板上的高純度元素原料進行氣化處理。這樣就可以實現高達每小時50個晶圓的高吞吐量過程,並且薄膜厚度和均勻性變化最小。LAM RESEARCH Kiyo 45還包括一個可容納多達16個晶圓的多區域可編程熱板。這允許對多達五個不同區域進行精確的溫度控制,從而可以在不同溫度下蝕刻和灰化特定元素。Kiyo 45可以容納廣泛的晶圓尺寸和厚度，使其適合半導體工業中的各種工藝。LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45 蝕刻器/asher也設計用於自動化操作。它包括一個配方管理設備，允許用戶輕松編程蝕刻和灰化參數，然後存儲設置以備將來使用。該系統還提供來自過程的實時反饋,因此操作員可以確保滿足所需的蝕刻和灰化參數。還包括一份全面的配方手冊，為理解和設置適當的參數提供了一個簡單的指南。ONTRAK Kiyo 45專為長期可靠性和成本效益而設計。它有一個先進的晶圓處理單元和自動清洗程序，以盡量減少顆粒汙染和確保過程的質量。該機還設計用於易於維護的快速釋放晶片對準器，可拆卸蓋和易於維修的泵和傳感器。總體而言，LAM RESEARCH Kiyo 45是一款先進的蝕刻器/asher，旨在滿足半導體行業的需求。它提供了高質量、高速處理、多區域溫度控制和易於自動化的組合，使其成為多種蝕刻和灰化工藝的絕佳選擇。