二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9315260 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款為高溫基材加工提供精確性能的蝕刻器/asher。這種設備在半導體工業中用於從各種晶圓和基材中蝕刻和去除光致抗蝕劑。ONTRAK Kiyo 45利用專有的多室氣體擴散室技術，以及高精度氣體進料機構，更好地控制蝕刻過程。LAM RESEARCH Kiyo 45′s氣體擴散室是專門為在蝕刻過程中使氣體溶解和均勻性最大化而設計的，從而能夠精確控制目標蝕刻速率。腔室的小尺寸也允許在高溫下精確控制蝕刻速率。這種高溫性能可用於蝕刻需要蝕刻溫度高於650℃的高K介電材料，如二氧化鋁、氧化鋁或氧化矽層。Kiyo 45還具有精確的溫度調節功能,可設置為+/-1℃以內,從而在蝕刻過程中提供精確的溫度穩定性。該系統有一個集成的洗滌站，有助於進一步減少蝕刻周期過程中的殘留。最新版本的LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45還提供了全自動蝕刻循環，用於精確的基板加工。ONTRAK Kiyo 45蝕刻器中使用的蝕刻氣體通常為CF4、CHF3、O2或ArF,具體取決於要蝕刻的材料。設備的可選遠程監視器可用,允許用戶從任何啟用Web的設備訪問各種計算機配方和操作數據。總體而言，LAM RESEARCH Kiyo 45蝕刻機具有精密的基材加工、精密的溫度調節和先進的蝕刻控制能力，是高溫基材應用的理想選擇。它具有自動蝕刻周期和遠程訪問各種配方和操作數據的能力,是蝕刻和研磨光刻材料的有效工具。