二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9351455 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款為半導體晶圓加工而設計的蝕刻/asher設備。它是Kiyo系列蝕刻工具的一部分，旨在通過精確控制和快速響應相結合的方式提供最佳的過程控制。ONTRAK Kiyo 45提供多種氣體混合物和兩個獨立的電源,提供一貫的高性能。LAM RESEARCH Kiyo 45設計用於蝕刻和灰化半導體晶片，同時保持所需的工藝參數。它具有兩個獨立的等離子體源和先進的氣體輸送系統，可提供可重復的過程結果。等離子體功率水平、壓力、蝕刻時間、惰性氣流等工藝參數可輕松調節監測，獲得最佳效果。Kiyo 45還具有快速切換氣體控制單元，它允許用戶快速改變氣體流動並實現所需的工藝參數。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45還配備了先進的真空機，提供精確的壓力控制和室內的均勻性。在蝕刻過程中可以設置和監測腔室壓力，以確保均勻和可重復的過程結果。因此，可以可靠地維持腔室內的壓力水平和均勻性，以取得一致、可靠的結果。ONTRAK Kiyo 45還有一個用於均勻基材蝕刻的離子泵工具。LAM RESEARCH Kiyo 45提供了多種工藝選擇，能夠進行幹式和濕式蝕刻、氧化物蝕刻、濺射蝕刻和化學蝕刻等蝕刻工藝。該資產旨在使用戶能夠輕松地在進程之間進行切換。此外,Kiyo 45還具有自動伺服控制功能,可實現精確的蝕刻速率,並具有用於過程監控的集成數據記錄器。LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一個可靠且設計良好的蝕刻/asher模型，可以處理各種各樣的半導體晶圓工藝。ONTRAK Kiyo 45憑借其先進的技術和專門的客戶服務,提供了一個強大的解決方案,可以提高流程窗口的效率和可靠性。