二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358668 待售
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LAMLAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款蝕刻器/asher,屬於Kiyo系列獨立和自動濕蝕刻系統的一部分。這種精密的微加工設備用於創建低至0.75 μ m的功能,並設計用於滿足高級研究、開發和實驗室應用的需要。該系統提供高精度蝕刻,蝕刻範圍廣,性能可靠,能夠處理矽、藍寶石、石英、聚合物等材料。ONTRAK Kiyo 45單元利用零通量隔離室在腔內創建高度控制的化學環境進行蝕刻。該腔室的設計目的是保持靜止環境,並盡量減少蝕刻時受到汙染的情況。LAM RESEARCH Kiyo 45還設有一個循環循環,以提供一致的溫度和減少化學廢物。此外,Kiyo 45還包括一個具有數字溫度控制和獨立的溫度和化學濃度監測的循環處理罐,以及一個自動晶圓和船用盒式裝載機。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45能夠處理多達4英寸的晶圓,蝕刻速率高達4 μ m/min。該工具還配備了可編程配方資產,允許輕松定制蝕刻過程,並具有自動定時計時器和泵控制模型,允許可重復蝕刻操作。該控制器還具有帶顯示器的操作員界面和一系列用於蝕刻工藝開發和優化的控制選項。ONTRAK Kiyo 45易於安裝和操作,並提供準確和可重復的蝕刻結果。它的設計是可靠和高效的操作,並具有低消耗的化學和功率。LAM RESEARCH Kiyo 45也為微加工研究提供了理想的平臺,並輕松融入現有的研究設施,允許更快的工藝開發和提高性能。
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