二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358691 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一種蝕刻器或asher，用於等離子體蝕刻和薄膜和塗層的灰化。該蝕刻器提供精確、可重復、高通量的蝕刻或灰化,並具有強大的射頻功率輸出,能夠在基板表面上產生獨立和同時的高質量蝕刻或灰化,而不會產生離子轟擊。ONTRAK Kiyo 45蝕刻器采用模塊化設計,可輕松集成到系統中。蝕刻器是具有兩個獨立等離子體源的雙壓力環境溫度蝕刻器；一個蝕刻源和一個灰化源。這允許通過為兩個過程提供一個孤立的單獨環境來精確蝕刻和粉刷樣品。該蝕刻器為每個工藝配備一個獨立的射頻發生器，以確保最佳蝕刻和灰化性能。該蝕刻器還有一個自動在線氣體控制系統，用於蝕刻和灰化過程。LAM RESEARCH Kiyo 45蝕刻器配備了一個向上流動的、多區的加工室，專門設計用於優化具有廣泛蝕刻化學和蝕刻條件的較大底物的蝕刻速率均勻性。蝕刻器還與各種蝕刻化學方法兼容，這種方法允許在各種材料上進行各種蝕刻工藝。Kiyo 45蝕刻器配備了先進的安全功能，以確保在安全的環境中執行所有流程。該蝕刻器配有用於大氣過濾的內置通風室、確保健康工作條件的HEPA過濾器，以及保證長期耐用的不銹鋼施工。蝕刻器還有一個先進的監控系統，可以對基板蝕刻和灰化加工進行準確的監控。LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45蝕刻器是一種功能強大且用途廣泛的蝕刻器或灰化器,可滿足廣泛的蝕刻和灰化需求,從而實現長期可靠性和高性能。該蝕刻器是精密、可重復、高通量性能的蝕刻薄膜和塗層的理想選擇。