二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358695 待售
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LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款強大的蝕刻和灰化設備,專為大量生產極細微結構而設計。ONTRAK Kiyo 45采用最先進的蝕刻和灰化技術,可實現極高的精確度和微細分辨率。此外,由於其低溫範圍和易於維護,它非常適合用於各種工業制造工藝。LAM RESEARCH Kiyo 45能夠提供精確、高度均勻的層厚材料,如矽、氮化物、二氧化矽和鋁。該系統能夠在批量和單片加工模式下運行,即使在很高的物料去除水平下也能提供可靠的蝕刻工藝。蝕刻和灰化是由所選擇的蝕刻氣體(CF4或SF6)的反應強烈驅動的,設計用於易於使用的單晶片模式操作。憑借其獨特的設計,Kiyo 45融合了多種特性,使其在批量處理方面效率極高。它的開放式單元使得它可以方便地訪問基板和產生熱穩定,精確,均勻蝕刻具有優越的邊緣定義。此外,該機器利用多源等離子體,使其能夠將惰性氣體轉化為活性物質進行灰化,這比其他系統能夠更快、更均勻。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45還能夠提供快速、可重復、可靠的結果,即使在非常高的通量下也是如此。ONTRAK Kiyo 45也是為了方便和相對較低的維護而設計的。LAM RESEARCH Kiyo 45具有易於打開的腔室、用於氣體和供應的自動填充程序以及可靠、精確的現場質量流量控制器等特點,使刀具的高效運行變得更加容易。總之,Kiyo 45是一種強大的蝕刻和灰化資產,旨在大規模生產微型結構。它提供精確的蝕刻和灰度即使在非常高的吞吐量,具有極高的精度和分辨率。此外,它設計方便,低維護操作,使其成為工業制造和許多其他工藝的理想選擇。
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