二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358696 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款高性能蝕刻器,適用於廣泛的應用。設備設計方便操作，讓運營商最大限度地提高吞吐量，最大限度地減少停機時間。它為關鍵蝕刻和灰燼操作提供高分辨率和統一的處理。該系統采用先進的脈沖直流等離子體技術，實現了對蝕刻和灰分過程的精確控制。它具有先進的自動化和安全選項，如自動基片處理和實時監控和控制過程參數。憑借其先進的控制能力，該單元還可用於串聯等離子體表面修改。該機器提供各種工藝,包括蝕刻、灰分、蝕刻/灰分/清潔、蝕刻/灰分/清潔和清潔。它可以處理正向或負向光致抗蝕劑的應用。獲得專利的E-mechanism為大多數蝕刻應用提供了高蝕刻速率、高均勻性和低圓端輪廓。ONTRAK Kiyo 45配置了一個集成的氣箱，用於壓板屏蔽處理、優化沈積/蝕刻性能和電子場均勻性。它占地面積小，並配有雙卡盤蓋，在處理過程中提供出色的卡盤隔離。LAM RESEARCH Kiyo 45利用其先進的控制機器,對溫度、壓力和壓力曲率響應等其它關鍵參數進行過程監控。為了增強安全性,它配備了多種內置安全功能,例如RF開/關開關、用於機械訪問的互鎖開關、隔離室和可擴展的緊急停止工具。資產還包括其他功能，如綜合遠程監測和控制模型、回流能力和氧氣/氮氣發生器。Kiyo 45被設計為與其他ONTRAK產品兼容，為運營商提供了一個很好的平臺來構建。LAMLAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45具有多功能性和強大的功能,是各種蝕刻/灰燼操作的絕佳選擇。