二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9375193 待售
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ID: 9375193
優質的: 2007
Metal etcher
(2) Chambers (PM2, 3)
With (2) Strips (PM1, 4)
MF (EFEM/TM):
Platform type: V2
(3) BROOKS 002-7200-32 Load ports
BROOKS 138150 ATM Robot
BROOKS 401600-201-0002-FRU TM Robot
EDWARDS EPX180N IPump (Ontool pump)
PM Module (PM1,2,3,4):
(3) MOTORORA CPU
(2) LAM RESEARCH 810-046015-009 VIOP
(2) LAM RESEARCH 810-099175-103 VIOP
(2) LAM RESEARCH 605-707109-001 Engenuities
(2) LAM RESEARCH 605-707109-012 Engenuities
(3) LAM RESEARCH 810-495659-303 ESC Power supplies
OCEAN OPTICS 685-801852-005 OES
OCEAN OPTICS 685-069171-002 OES
MKS 797-004456-003 VODM
MKS 797-00456R005 VODM
(2) MKS AX7695 Revolution
(2) LAM RESEARCH 839-014090-374 ESC
Gas configuration:
IGS Gas box
(17) Gas lines
(20) HORIBA SEC-Z313M Gas box MFC
(3) HORIBA SEC-Z719MGX Gas box MFC
(9) HORIBA D219-SCT Gas box MFC
(2) MKS 649A-25014 He UPC
Strip gas:
(2) HORIBA SEC-Z313M Gas 3 Ar(2000)
(2) HORIBA SEC-Z313M Gas 2 O2(5000)
(2) HORIBA SEC-Z313M Gas 1 N2(1000)
Components:
(2) MKS E28B-23747, 31802 Process gauges
(2) MKS 625A-14059 Chamber gauges
HPS 109070019-CE TM vacuum gauge
(2) TELEDYNE HPM2002-OBE-LM Air lock vacuum gauges
(2) EDWARD STP-XA2703CV Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1500 Turbo pump controllers
RF Gen / Matcher:
APEX APEX1513 BIAS RF Generator
APEX PARAMOUNT1513 BIAS RF Generator
APEX APEX1513 TCP RF Generators
APEX APEX2013 TCP RF Generators
LAM RESEARCH 832-038915-001 BIAS RF Matcher
LAM RESEARCH 832-038915-203 BIAS RF Matcher
LAM RESEARCH 853-034908-200 TCP RF Matcher
LAM RESEARCH 853-043759-401 TCP RF Matcher
LAM RESEARCH 834-036619-011 BIAS RF Cable
LAM RESEARCH 684-111962-001 BIAS RF Cable
LAM RESEARCH 834-036619-020 TCP RF Cable
LAM RESEARCH 834-036619-021 TCP RF Cable
2007 vintage.
LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款功能強大的底物蝕刻器/asher。它被設計為一種單晶片工具，允許在常規晶片制造中進行精確和精確的蝕刻和灰化過程。它配備了高效的雙源、多區射頻（RF）源,能夠同時進行低溫灰化和高溫蝕刻。這樣可以在所有平版印刷過程中實現極好的均勻性和可重復性。該工具還提供了晶片上的圖樣跨各種基材的出色可重復性。ONTRAK Kiyo 45有一個精密的等離子體過程控制設備，可以在晶圓上進行精確的調諧和均勻性。它使用先進的快門系統，改進了過程控制，並允許有效的晶圓傳輸。該工具還有一個光學發射光譜儀，它提供等離子體參數的實時監測，允許實時調整蝕刻和灰化過程。LAM RESEARCH Kiyo 45由高品位的不銹鋼和鋁合金構成，具有高效的冷卻單元，允許在蝕刻和灰化過程中使用低溫。該工具采用了最新的高性能渦輪泵真空技術，具有出色的泵送速率和低噪聲水平。它還具有3桿插座射頻電源和單獨的變頻低頻電源。Kiyo 45有一臺基於PC的控制機器，帶有現代化的GUI，允許遠程控制和監控。該工具提供諸如腔室壓力、射頻功率、氣流和溫度等工藝參數。它還具有高級監控和診斷功能以及資產安全警報。LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45的設計是為了在蝕刻和灰化過程中實現最佳的生產率和可重復性。它是任何光刻應用的可靠而有力的工具。憑借其堅固的結構和尖端技術，即使采用更具挑戰性的材料也能提供最佳效果。
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