二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9379095 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一種高斯asher/etchant工具，在一個設備中結合了先進的蝕刻和ashing工藝。它旨在通過中等尺寸的基板進行蝕刻和粉刷，精度高，均勻。該系統配備了高級源代碼控制、對全局進程的支持以及許多其他功能。LAMONTRAK Kiyo 45具有高斯等離子體源,它提供可調節的功率、壓力和密度,以產生均勻的深度、側壁以及頂部輪廓蝕刻和灰度作業。該裝置是完全可編程的過程標準化和提高基材產量。LAM RESEARCH Kiyo 45還配備了用於控制蝕刻和灰化的自動壓力控制（APC）和廢氣流動結構（EGFS），以確保安全運行。Kiyo 45還具有一個為均勻氣體分布而設計的反應室，可確保重復蝕刻和灰化結果，即使在具有復雜幾何形狀的基板上也是如此。此外,該機器使用先進的氣體填充技術和晶圓映射工具來檢測過程變化,並確保跨不同產品的一致全局過程。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45也是為了方便維護而設計的。腔室配有升降機構，方便快速晶圓交換，而資產本身則設有觸摸屏界面，可方便快捷地更改工藝參數。該模型具有一系列高級功能,例如用於快速流程故障排除的檢測套件、集成流程監控和聯網功能。總體而言，ONTRAK Kiyo 45是一種先進的蝕刻和灰化設備，設計用於在中小型基材上提供完整、均勻的蝕刻和灰化工藝。它具有各種高級功能,可幫助確保流程穩定性和可重復性,以及易於使用的流程調整和跟蹤界面。