二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #196518 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一種緊湊的、高性能的、用於基材蝕刻應用的幹就地蝕刻解決方案。該設備能夠處理厚度最大為4mm的基板，其精密的軟件控制系統提供對工藝參數的高精度控制和可重復性。結合快速循環時間和精密的工藝控制，ONTRAK TCP 9400 SE是底物蝕刻和加工的理想選擇。該裝置配有氣體輸送機，能夠從兩個獨立的儲層輸送氧氣和氯氣。氣體輸送工具設計用於在蝕刻過程中向基板提供一致的氣體流動。此外,該資產還被設計為易於升級以提供更高的性能。LAM RESEARCH TCP 9400 SE具有兩個獨立可調、溫度可控的工藝卡盤，允許並行蝕刻不同基板以提高吞吐量。熱板也可用於基板的均勻加熱，而功能齊全的遠程訪問鍵盤可以方便地操作模型。此外,設備還包括一個集成的冷卻套件,可在工藝周期內提供精確的溫度控制。該系統配有一系列集成的附件和工具，包括一個蝕刻探針、清點器和用於精密加工的研磨工具。該單元的數據輸出以可視化和可編程格式提供，便於分析和控制過程變量。此外，由於機器的高速閉環控制，它提供了快速的循環時間能力。TCP 9400 SE是一種可靠、通用的蝕刻解決方案,適用於各種基材蝕刻應用。憑借其高性能和精確控制，可以提高用戶的效率和吞吐量。此外，其先進的軟件和集成的附件可以方便地訪問和控制蝕刻過程。