二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #293587268 待售

LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE
ID: 293587268
晶圓大小: 6"
ICP Etcher, 6".
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一款全自動蝕刻器/asher,旨在滿足當今半導體生產設施的需求。它以高效、循序漸進的方式對光掩模和其他材料進行精密蝕刻和粉刷。ONTRAK TCP 9400 SE能夠處理各種材料,並且在掩模的大小和形狀方面具有靈活性。它提供八種不同的掩碼配置,包括蝕刻一層、兩層或三層的功能,並具有板載模式識別功能以進行對齊。它還提供精確的溫度控制和高度可靠的集成過程自動化系統。LAM RESEARCH TCP 9400 SE采用先進的蝕刻和灰化技術,主要目標是清除所有表面的汙染物。利用浸沒在液體介質中的振蕩電極進行蝕刻過程,使用帶有等離子體電炬的加熱爐室進行灰化過程。蝕刻電極可以調整其位置以達到最佳蝕刻,而火炬可以達到高達2000 °C的溫度以快速蝕刻材料。TCP 9400 SE能夠使用不同控制器和測量儀器的組合,將蝕刻和灰化參數保持在預設的範圍內。溫度傳感器、位置傳感器、壓力傳感器和流量計用於監視蝕刻和灰化過程的所有元素,以確保精度和一致性。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE配備了一套全面的軟件和硬件增強功能,包括圖形用戶界面(GUI)、用戶定義的過程自動化以及數據日誌記錄。GUI允許用戶輕松定義流程步驟,而用戶定義的過程自動化允許用戶修改自動化流程步驟以自定義操作。數據日誌存儲結果,可用於顯示趨勢和存儲流程信息。ONTRAK TCP 9400 SE是大批量處理的理想選擇,具有耐用的框架結構和內置的安全和質量保證系統。它經過CE認證,符合最嚴格的國際標準,以確保一致和可靠的性能。
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