二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9099538 待售
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LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一款用於半導體材料加工的高性能蝕刻器/asher。該工具旨在提供最高級別的精度和可重復性,從而使用戶能夠為其設備制造過程獲得最高的產量和產量。ONTRAK TCP 9400 SE具有先進的可編程激光設備,可確保精確的材料去除特性,以實現所需的設備特性。它配備了一個用於蝕刻的高功率氙激光器和一個用於灰化的低功率激光器,從而使得它既適用於材料蝕刻,也適用於表面灰化。激光系統還配備了精密燒蝕的精密閉環控制單元和優化燒蝕模式的掃描機。該機還提供了多腔室濺射源,在沈積過程中具有更高的精度。這個濺射源配備了鋁、銅、鈦等各種先進材料,根據用戶的應用提供了最好的特性和性能。它還包括一個全自動清潔工具,用於連續清潔蝕刻和灰化過程之間的腔室。多步驟過程支持自動快速快門。LAM RESEARCH TCP 9400 SE 蝕刻器/asher附帶集成的晶圓管理資產,允許用戶在全自動或手動模式下使用機器。該模型還提供晶圓跟蹤和產品跟蹤功能,用於整個過程控制。該機器還配備了先進的物料處理設備,能夠手動裝卸晶片和基板。在系統安全性和可靠性方面,TCP 9400 SE配備了先進的互鎖裝置以及緊急關機,在發生任何緊急情況時關閉整個過程。此外,還配備了觸摸屏用戶界面和專用配方管理,方便方便使用。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一款先進的半導體蝕刻器/asher,專為要求最苛刻的應用而設計。它具有高度精確和可重復的控制系統,可確保用戶獲得最高級別的設備產量和過程可重復性。它的安全性和用戶界面特性使其成為現代半導體制造的高度可靠和用戶友好的工具。
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