二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9134003 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9134003
晶圓大小: 4"-12"
Etcher, 4"-12"
Oxide
Flat wafers
ESC chuck
(1) Chamber
GAS NO GAS NAME MAKER MODEL FULL SCALE
1 02 TYLAN FC-2950MEP5 200SCCM
2 02 TYLAN FC-2950MEP5 10SCCM
3 N2 TYLAN FC-2950MEP5 10SCCM
4 SF6 TYLAN FC-2950MEP5 50SCCM
5 HBR TYLAN FC-2950MEP5 200SCCM
6 CF4 AERA FC-D980C 500SCCM
7 CL2 AERA FC-D980C 200SCCM
8 70%HE+30%O2 AERA FC-D980C 20SCCM
9 HE UNITY 8100Seris 50SCCM
BOARD BOX:
CPU
ADIO#5
ADIO#7
ADIO#8
ADIO#9
ADIO#11
ADIO#13
SERIAL
PRESSURE:
LOCATION MAKE MODEL
CHAMBER CM MKS
TURNEL MKS 625A11TDE
FORLINE MKS 625A11TDE
BACK HE TYLAN CMLA-21
RF GENERATOR MACHER
TOP AE RFDS 1250 R-KIT
BOTTOM AE RFG 1250 MINI
PUMP:
SEIKO SEIKI H2002C
SEIKO SEIKI STP-H200C
PRESSURE CONTROL:
VAT 65048-PH52-ABU2
VAT PM-7
FUNCTION CHECK:
INDEX MOVING
SHUTTLE MOVING
ARM MOVING
PRESSER CONTROL
GAS FLOW TEST
GAP MOVING
RF ON/OFF
ESC ON/OFF
AUTO RUNING TEST.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一款半自動蝕刻器和asher。它是一種單晶片設備，設計用於廣泛的蝕刻、灰化和沈積過程。它有兩個氣室，每個氣室都有獨立的流量和溫度控制。它還具有一個用於精確晶圓定位的自動基板定心系統以及在一次運行中執行濕法和幹法過程的能力。該單元配備了基於PC的高性能控制機器和易於使用的Windows™樣式軟件接口。可編程流程配方提供了流程設置功能、最多20個用戶定義流程的數據存儲以及具有大量參數的靈活流程控制。該工具還包括一個監視器條形圖，允許用戶快速查看流程數據並識別問題。ONTRAK TCP 9400 SE可以處理廣泛的基材，包括矽片、光刻面膜、石英和陶瓷。晶圓室最多可容納400mm、200 mm和150 mm圓形基板。該資產還為鋁、多晶矽、鈦、矽等材料提供多種蝕刻和灰化反應。該模型包括一個集成的安全聯鎖設備，以提供最大程度的保護。它還包括一個端點檢測子系統（EDS）,幫助操作員監控基板損壞,以及一個快速冷卻子系統（FCS）,幫助防止蝕刻過程中的熱損壞。該系統為各種蝕刻和灰化應用程序提供了卓越的性能。其高性能控制器和軟件使自動化處理變得快捷易用。該設備還為操作員和基板提供出色的安全特性和保護。所有這些功能使LAM RESEARCH TCP 9400 SE成為工藝工程師的絕佳選擇。
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