二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9181362 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是為半導體制造而設計的最先進的蝕刻器/asher。它提供了單端三軸機械運動設備，用於精確和可重復的蝕刻和灰燼處理。ONTRAK TCP 9400 SE能夠實現比傳統圓形蝕刻系統更大的開放面積因子（OAF）蝕刻,從而減少了所需的重新塗層數量。LAM RESEARCH TCP 9400 SE最多可做兩微米蝕刻，可以精確蝕刻各種晶圓尺寸，從150毫米到300毫米。TCP 9400 SE利用ONTRAK專有的MatchMotion技術。MatchMotion技術是一個軟件系統，在蝕刻過程中協調所有三個軸，消除錯位，減少頻繁重新校準的需要。該單元還利用PatchMotion技術為特定應用程序創建編程的優化蝕刻。它還與MaskAdapt算法兼容，以最大限度地提高半導體器件制造的吞吐量。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE允許精確控制蝕刻工藝，這在半導體制造中至關重要。該機器使用閉環反饋工具來確保蝕刻精確,並在多個批次上具有可重復的結果。該資產還包括一個實時光學檢查功能，可以檢測蝕刻過程中的缺陷，允許立即進行校正。此外,ONTRAK TCP 9400 SE可配置為各種壓力、溫度和工藝化學,用於各種蝕刻和灰分工藝。LAM RESEARCH TCP 9400 SE除了精確度和精確度外，更是為了最大效率和方便而設計。該型號的自動卡帶到卡帶功能允許在無需人工幹預的情況下處理多個晶片。它還具有一個集成的排氣設備，以保持工作區域無有害的煙霧。此外,系統還配備了多種模具配置,並配有一整套診斷工具,便於維護和設備優化。總之，TCP 9400 SE是一種設計用於半導體制造的可靠且用途廣泛的蝕刻器/asher。它提供了一個單端三軸運動機器，使精確，可重復蝕刻和灰化過程。它還包括MatchMotion和PatchMotion技術、MaskAdapt算法、光學檢查、自動卡帶到卡帶功能以及一整套診斷工具等功能。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是半導體器件制造的理想解決方案。