二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9203958 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9203958
晶圓大小: 8"
Etcher, 8"
With cassette to cassette transport
Model 9408 includes
Rainbow platform
Ceramic free chamber with waferless auto clean (WAC)
Single chamber stand-alone version
LEYBOLD HERAEUS TURBOVAC 1000C Turbo-molecular vacuum pump
Inductively coupled source (TCP)
ESC 9400
Environmental requirements:
Temperature: 22 ± 2°C
Humidity: <50 %
Vibration sensitivity: Slight
Thermal output (BTU/Hr):
Carrier by water: 9400
Carrier by exhaust: 8400
Dispersed to environment: 20,000
Total output: 38,000
RF Generator:
Carrier by exhaust: 5000
Dispersed to environment: 3000
Total output: 8000
Power requirements: 208 VAC, 50/60Hz, 3 Phase, 80/63Amps
(5) Conductors
Type: Wye
Receptacle required: Hardwired
CE Marked.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一種全自動的單面蝕刻器/asher，用於半導體晶圓加工。該裝置旨在提供出色的加工控制、高產量以及廣泛的蝕刻和灰化應用。這種蝕刻器/灰化器由一個主腔室和一個加熱的、壓力控制的等離子體源以及獨立的基板偏置、溫度和壓力控制組成。蝕刻器/asher還配備了精密的粒子光學顯微鏡，用於在加工過程中監測基板表面。腔室容量為200毫米（8英寸）晶片片或90毫米（3.5英寸）全晶片。ONTRAK TCP 9400 SE具有高度通用的多功能流程模塊,可提供出色的靈活性、可靠性、可重復性和準確性。精密的控制系統允許在單個工具中對非活性金屬和反應性半導體材料進行精確蝕刻和粉刷。該單元能夠蝕刻和粉刷各種表面，從極薄的半導體器件到厚結構。此外,該單元還設計用於高真空等離子體蝕刻/灰化和低壓等離子體蝕刻/灰化。蝕刻器/asher的設計具有精確的過程控制和出色的穩定性，使過程能夠得到充分的優化。精確的機械手允許在蝕刻或灰化過程中對晶片進行精確掃描，並對實際蝕刻速率進行精確監控。該蝕刻器也能夠在半導體基板中重復精確地形成溝槽。LAM RESEARCH TCP 9400 SE由於具有高速多工序和原位清潔功能,因此能夠提供出色的保護,防止晶圓損壞。精密的機械手還確保了關鍵結構的均勻處理和整個腔室的精確熱接觸。此外，集成激光衍射診斷的高效率允許精確的過程控制和分析，同時消除塵埃顆粒汙染。總體而言,TCP 9400 SE是一種高性能的蝕刻器/灰化器,可為各種半導體晶圓結構提供精確可靠的蝕刻和灰化。該裝置設計用於精確控制蝕刻和灰化過程，以及可重復的性能和優異的產量。此外，它還設計用於高真空和低壓等離子體加工，使其成為半導體應用的理想解決方案。
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