二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9223304 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一種蝕刻器/灰化器,能夠對多種行業的材料進行關鍵蝕刻和灰化操作。它獨特的設計是為實現成本效益和可擴展性而設計的,因此可以用於許多不同的應用程序。本機具有高速晶圓傳輸設備，在保持過程重復性的同時，能夠在高壓、低壓、蝕刻、灰化操作之間快速循環。ONTRAK TCP 9400 SE減少了耗材的使用量,提高了吞吐量,提供了最大的性能和過程控制。LAM RESEARCH TCP 9400 SE的核心是陶瓷封閉式等離子室設計。這一特性的設計是為了最佳的傳熱和安全，有效地利用過程氣體。陶瓷室保持高度的溫度均勻性，以保證快速、可重復的蝕刻操作。為了進一步優化蝕刻性能，這臺機器具有集成的過程壓力監控，可以進行微調並確保一致性。為確保可重復性和準確性,TCP 9400 SE采用了獲得專利的反饋控制系統（FCS）。FCS通過監控晶片上的燈絲電壓剖面運行，並根據預設條件自動調整工藝壓力和時間。這樣,如果在蝕刻過程中晶圓屬性發生變化,設備就可以重新獲得過程控制。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE也有數位處理錄音機。此工具在每個蝕刻周期中存儲所有工藝參數,從而可以為每個處理的晶片重新創建精確的工藝參數。此外,存儲在數據庫中的過程變量允許進行統計過程控制,並在需要時改進過程。工藝配方軟件允許機器存儲不同晶圓類型的多個配方並自動執行。還可以存儲批量平均數據和處理相關信息。這樣便於保存、審查和出口蝕刻日誌,以便進行質量控制和質量保證。最後,ONTRAK TCP 9400 SE專為易於使用和維護而設計。它有一個大的前面板顯示器，易於使用操作員控制，以允許快速，簡單的操作。為了進行維護,所有關鍵組件都可以從機器外部輕松訪問。LAM RESEARCH TCP 9400 SE是一款用途廣泛、可靠且可靠的機器,非常適合那些希望在蝕刻和灰化過程中提高生產效率和效率的用戶。