二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9412757 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一款先進的蝕刻/灰化設備,設計時考慮到了要求最苛刻的應用程序。ONTRAK TCP 9400 SE是一種基於專利的三室閉環工藝的脈沖等離子體源。其革命性的車載自動化系統與流程控制軟件相結合，實現了高度可靠的流程工具。此蝕刻/灰化單元具有從10毫瓦到500毫瓦的寬操作窗口。它支持包括氯氣、氟氣和二氧化碳在內的多種氣體。可調蝕刻速率，加上可變脈沖不對稱性使得它非常適合廣泛的蝕刻/灰燼過程。這臺機器還采用了專利會聚區室，幫助消除與傳統蝕刻系統相關的問題，如邊緣損壞、掩模侵蝕和電弧漂移。LAM RESEARCH TCP 9400 SE專為高吞吐量和生產率而設計。開放式體系結構允許優化材料、過程和特征。該工具還支持多種配方，並提供出色的可重復性。它具有直觀的工業用戶界面，帶有液晶觸摸屏和圖形作業編輯器。智能實時過程調整工具允許在幾分鐘內優化配方。它還包括一個自動晶圓級診斷資產,用於在模型出現問題之前檢測任何模型問題。TCP 9400 SE有幾個先進的安全特性，如太陽能電池板和探測腔內泄漏的激光器。它還具有EFEM兼容性,使其能夠集成到自動化系統中。設備占地面積小，便於安裝維護。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一個強大的解決方案,可用於開發涉及蝕刻/灰燼工藝的各種先進技術。它非常適合高精度陣列、接觸開口、設備隔離和掩碼修復等應用。該系統非常適合需要最先進的蝕刻/灰化設備的客戶,具有卓越的可重復性和過程控制。