二手 LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169565 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4000系列是為半導體器件制造而設計的先進等離子體蝕刻器/asher。該設備為矽片等先進材料的高精度制圖提供了高度精確、可控的蝕刻工藝。適用於蝕刻金屬、多晶矽、二氧化矽、石英、氮化物、介電材料。該系統配備了獨立等離子體和蝕刻氣體密度等先進特性，以及高端氣體輸送機制。其集成處理控制軟件支持精密配方和原位光學端點檢測。Rainbow 4000 Series配備了一個多源、高功率感應耦合等離子體（ICP）源，在過程腔中產生一個均勻的等離子體。它能夠產生對密度和功率有精確控制的高密度等離子體。等離子體發電機可通過快速開啟和關閉循環提供高達25kW的功率，從而實現高蝕刻速率。高密度等離子體也適用於需要極低含氧物質的過程。彩虹4000還采用了高度可控的氣體輸送裝置。這臺機器能夠同時輸送多達五種不同的氣體.根據蝕刻工藝的不同，氣體可以包括三種蝕刻物種類，一種鈍化氣體以盡量減少蝕刻深度的變異性，以及一種清除副產物的凈化氣體。軟開合流量控制保證了恒定的蝕刻室壓力和均勻的蝕刻均勻性。該工具還配備了用於精確和可重復過程結果的高級控制器。Rainbow 4000系統提供現場端點檢測,以監控蝕刻過程的結束。資產還使用「軟著陸」功能,通過自動調整蝕刻過程端點來提高蝕刻一致性。其集成的配方優化和管理模型有助於維護一個穩定、可重復的過程。除了先進的功能外,LAM RESEARCH Rainbow 4000系列蝕刻器/Asher還通過獲得專利的高效HEDP氣體加熱器提供了改進的熱管理。該設備還得到LAM RESEARCH全球服務網絡的支持，該網絡在全球範圍內提供技術支持和安裝服務。Rainbow 4000系列是高級蝕刻和粉刷工藝的絕佳解決方案。