二手 LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169566 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4000系列是一款蝕刻器/asher，旨在滿足現代半導體器件的苛刻需求。4000系列是專門為半導體工業設計的專用電化學沈積/蝕刻設備。它采用全自動的模塊化設計,可實現高效的操作和最大的生產靈活性。該系統采用多種蝕刻技術，包括幹蝕刻、反應性離子蝕刻（RIE）、等離子體蝕刻（PIE）和大氣壓化學蝕刻（APCE）。該裝置專門設計用於在半導體基板上進行精密沈積和蝕刻。Rainbow 4000系列使用最先進的過程控制和監控功能來提供始終如一的高質量蝕刻結果。它能夠處理各種各樣的底物，包括矽、絕緣體上的矽（SOI）和多晶矽。它具有高度可配置性，允許各種蝕刻配方滿足特定的工藝要求。雖然它也與微波和直流電（DC）電源兼容，但它主要使用射頻功率進行處理。LAM RESEARCH Rainbow 4000系列能夠處理復雜的蝕刻過程，需要蝕刻和沈積過程。例如,它可用於在設備的表面上形成金屬觸點,例如用於互連的觸點。它也是其他一般蝕刻應用的理想選擇，包括修剪、精細圖樣和空腔形成過程。Rainbow 4000系列具有多項安全功能,旨在保護人員和設備。它采用了廣泛的互鎖和保護程序，以便立即識別和解決流程錯誤和失控情況。該機器還設有一個完整的流程配方數據庫和一個遠程監控終端。4000系列的設計采用了多種簡單、方便的措施。高速機器人技術和可編程性允許快速設置時間、降低維護成本和提高吞吐量。該工具還具有獨特的低壓電源,可減少通常與蝕刻和沈積過程相關的工件。總體而言,LAM RESEARCH Rainbow 4000系列是一款先進的蝕刻器/asher,可滿足現代半導體器件的許多需求。它提供精確的蝕刻和沈積結果，能夠處理各種基板，並通過其全面的監測和保護功能確保安全。其直觀的設計和用戶友好的操作使其成為半導體行業理想的蝕刻解決方案。