二手 LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169568 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4000系列是一款先進的蝕刻/asher設備，旨在滿足最復雜的晶圓處理應用的需求。該系統具有模塊化平臺,旨在適應任何應用程序,同時提供一致的性能。該單元獨特的體系結構允許最多可添加三個附加模塊,以實現進一步的可擴展性和多功能性。Rainbow 4000系列配備了Crystal Front Target Assembly （CFTA）,它提供熱耦合蝕刻和灰化功能,並對溫度和壓力進行精確控制。此外,這臺機器設計用於可靠的中高批量生產運行,具有先進的運動控制功能,可確保整個晶片表面的均勻性和可重復性。配備兩臺1.75 kW射頻發電機，LAM RESEARCH Rainbow 4000系列能夠每分鐘執行多達6個晶圓循環的蝕刻，從而提高吞吐量。此外,該工具還利用板載上下文相關軟件來適應工藝參數和晶圓特性,確保模塊的正確集成和簡化操作。Rainbow 4000系列能夠精確控制諸如溫度、壓力、射頻功率、灰度時間和蝕刻時間等參數。自動參數控制使該資產非常適合在整個基板表面提供均勻的晶圓均勻性。為了方便晶圓的處理和運輸，LAM RESEARCH Rainbow 4000系列采用集成晶圓運輸模式設計。該設備具有聚焦室、晶圓處理器和接收器室結合形成柔性晶圓處理系統。這種機構可以處理範圍廣泛的晶圓大小和形狀，以及單面和雙面晶圓。該設備采用優化的機器人端部效應器,可確保可靠的操作和精確的晶圓定位。對於潔凈室操作,Rainbow 4000系列構建在緊湊的重型框架上,具有減振特性。該平臺通過細節識別、直觀的觸摸屏界面、可靠的聯網和機器維護功能等功能設計，便於操作。為確保操作過程中的安全,該工具配備了一套安全功能,包括過溫、過壓和電磁幹擾保護。LAM RESEARCH Rainbow 4000系列是蝕刻和灰化應用的理想工具,可實現高精度、重復性和可靠性。該資產具有多任務處理能力和模塊化設計,是市場上最先進的蝕刻/蝕刻系統之一。