二手 LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169569 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4000系列是一個蝕刻器/asher，提供精密等離子體蝕刻和清潔化學蝕刻和灰化技術的組合。該設備具有多種功能,非常適合多個行業,包括半導體、汽車、電信、消費電子、光學和醫療設備制造。Rainbow 4000 Series的設計由兩個獨立的蝕刻室組成，一個用於化學蝕刻，一個用於等離子體蝕刻，通過同一工藝電路連接。該系統還采用了LAM的HFIC（高頻阻抗控制）技術，該技術可以精確控制蝕刻速率、晶圓逐晶圓的修改以及在各種基材上的加工能力。LAM RESEARCH Rainbow 4000系列旨在提供高通量和高產量的化學和等離子體蝕刻。設備的先進、計算機控制的可編程過程參數允許在多個蝕刻批次上進行微調和重現。其先進的Flexi-Etch自動調諧技術進一步增強了工藝控制，允許在廣泛的基板上進行蝕刻速率和均勻性優化。在化學蝕刻方面，Rainbow 4000系列包括一臺便於零件裝載的擺臂轉移機和一個采用LAM的Superior RF Bal ECR（射頻平衡蝕刻控制）技術的化學蝕刻室，該技術可以精確控制等離子體蝕刻過程的功率、壓力、過程化學、冷卻和溫度均勻性。此外，該工具采用PFPE（基於全氟聚醚的）化學蝕刻化學設計，這是一種生態友好的選擇，不需要危險化學品。LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series的等離子體蝕刻室提供高蝕刻均勻性和一致的晶片-晶片-透射。該資產采用先進的邊緣蝕刻控制模型和無線圈射頻供電設備,以確保均勻性和溫度均勻性。等離子體蝕刻室還包括一個內置的級聯冷卻系統，有助於確保可重復蝕刻速率和更高的產量。為了改進安全和控制,Rainbow 4000系列包括一個高級密碼保護訪問單元。它還包括一個集成的過程監控中心，一個ESD（ElectroStatic放電）監視器，以及一個功能強大的多終端用戶界面。該機器與最新的軟件更新完全集成，其封閉的設計降低了噪音水平。LAM RESEARCH Rainbow 4000系列是一款功能強大的蝕刻器/asher工具,集成了高級功能,旨在獲得最佳性能和生產產量。它的兩個蝕刻室、對工藝參數的精確控制以及工藝監控能力，使其成為需要化學和等離子蝕刻工藝的行業的完美解決方案。