二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #293595657 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4400是一款先進的蝕刻器/asher，設計具有針對多種材料的卓越工藝能力；從玻璃到GaAs。它具有易於接近的負載/卸載檢修托架和低溫操作的絕緣真空室。腔室支持兩個集成的、可單獨配置的高功率多頻源和三個無功源面板，允許低溫制作各種材料；從厚膜到矽片。該設備的集成氣體輸送系統和一系列先進的工藝控制功能，可以對所有蝕刻和灰化工藝參數進行精確控制。Rainbow 4400利用強大的數據庫服務器來管理所有流程配方,從而確保最高級別的可重復性和可重復性,以及錯誤和警告預防。數據庫服務器還包含許多預定義的配方步驟,從而限制了對用戶配置和手動設置敏感流程參數的需求。LAM RESEARCH Rainbow 4400利用了多臺先進的射頻發電機，包括雙極射頻發電機、850兆赫射頻發電機、13.56兆赫射頻發電機和6.78兆赫射頻發電機。這些發電機能夠提供20 MHz至1 GHz範圍內的頻率，以及提供脈沖調制、相位控制和雙相技術，以優化過程性能。該裝置還具有先進的控制能力，允許精確的過程控制，能夠控制過程氣體、基板溫度和射頻功率水平。Rainbow 4400通過提供各種級別的自動化功能,可快速適應不斷變化的流程要求。一個自動基板裝卸模塊以及一個自動終點檢測機，有助於盡量減少所需的人工幹預；確保高效和可重復的生產。符合人體工程學的設計確保了用戶的適當安全和舒適性,並為維護提供了方便的訪問性。LAM RESEARCH為LAM RESEARCH Rainbow 4400提供全面的服務和支持選項,包括在線技術支持、綜合手冊和產品文檔,以及操作員培訓和持續維護計劃。Rainbow 4400在潔凈室和制造環境中運行,提供了卓越的過程控制和可靠性,使其成為一系列生產、研究和開發應用程序的理想選擇。