二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #293814660 待售

LAM RESEARCH 4400是一種濕式化學蝕刻器/灰化器設備,設計用於需要均勻、精確蝕刻或灰化晶片的應用。它具有300 mm的最大晶圓尺寸,其設計目的是在均勻的輪廓內實現深度和精確的蝕刻/灰化。4400系統具有強大的軟件包,並且與LAM Researches AutoEtch兼容,從而實現了全自動操作。它還配備了FOUP裝載機，以提高裝卸效率。LAM RESEARCH 4400的蝕刻器/灰化器以感應耦合等離子體（ICP）技術為基礎，以最短的工藝時間提供精確、均勻、精確的晶片蝕刻或灰化。ICP 蝕刻器/asher利用高頻電場從工藝氣體中生成等離子體，並保持在穩態壓力下。這樣可以對基材進行精確、深、均勻的蝕刻或粉刷。此外，該單元還具有兩階段蝕刻/灰化工藝，其中第一階段為多方向蝕刻/灰分工藝，第二階段為定向蝕刻/灰分工藝。4400機具有大腔室，采用開放式框架設計，允許進入工藝區域。可拆卸的穿孔墻、調節臂和集成組件可實現免維護的使用壽命,且維護要求最低。LAM RESEARCH 4400還具有先進的數字控制工具，允許用戶監視、檢查和控制所有過程參數以及與過程相關的錯誤。蝕刻/灰化過程是通過各種蝕刻化學品和加工氣體實現的，這些化學品和加工氣體包含在四個獨立的反應單元中，並驅動附著在資產上的泵來實現。反應電池是溫度控制的，可以從氣體供應中完全分離出來。這樣可確保以最高精度執行蝕刻/灰化過程,從而產生一致、高度精確的蝕刻和灰化輪廓。此外，該模型還配備了獨特的氧化/還原過程，允許精確調整氧化/還原過程。4400是一種精確、精確和可靠的蝕刻器/asher,非常適合要求均勻、精確蝕刻或粉刷的應用。它提供高蝕刻/灰分速率、精確的過程控制和簡單的維護,使其成為用於研發應用的非常可靠的設備。