二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #293817738 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4400
ID: 293817738
Etcher.
LAM RESEARCH Rainbow 4400是一款基於等離子體的asher/etcher設備,設計用於半導體工業。Rainbow 4400能夠執行各種蝕刻任務和工藝,從而能夠蝕刻各種矽基材料和其他材料。該系統提供了許多功能和好處,如增強的統一性、高工藝和蝕刻率、減少每批晶片和擴大能力。LAM RESEARCH Rainbow 4400能夠使用各種氣體進行蝕刻,能夠通過變頻驅動器控制氣體輸送。此外,變頻驅動器還能在蝕刻過程中實現精確的氣體控制.該機組還配備了最先進的射頻發電機,可提供高達18MHz的射頻功率。Rainbow 4400通過具有直觀導航的用戶友好觸摸屏界面進行控制和監控,使用戶可以輕松定制機器參數並監控流程進度。內置診斷工具使用戶能夠快速排除蝕刻過程中出現的任何問題。資產還提供先進的安全功能,如雙設定點氣體輸送控制(GDC)、動態氣體安全關閉以及防止有毒氣體或顆粒逸出的密封外殼。LAM RESEARCH Rainbow 4400旨在減少停機時間。該型號具有較高的吞吐量,每小時最多可蝕刻40個晶圓批次,批量可達1200個晶圓。由於先進的特性,設備可以處理偶數和奇數形狀的晶片,以及大小和厚度各異的晶片。彩虹4400還能夠在蝕刻過程後冷卻晶片,有助於保持晶片更恒定的表面溫度,最大化蝕刻的均勻性。總體而言,LAM RESEARCH Rainbow 4400是半導體行業蝕刻矽基及其他材料的理想系統。這一單元提供了先進的功能,例如可靠的氣體輸送、對工藝參數的靈活控制以及安全特性。此外,Rainbow 4400可減少停機時間,同時提供高吞吐量和均勻性。
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