二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9030525 待售
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已售出
ID: 9030525
晶圓大小: 6"
Poly etcher, 6"
Cassette to cassette single wafer
Classic
Clamped with PN 715‐11629‐006 C lower cap electrode 6" installed
Optical non‐contact
ENI OEM‐650A generator
TCU 2080 chiller.
LAM RESEARCH Rainbow 4400是一款蝕刻/asher工具,旨在滿足半導體晶圓制造行業的需求。Rainbow 4400提供多種功能,旨在提供精確可靠的蝕刻工藝。該工具提供不同的蝕刻速率,以適應整個過程要求範圍。該工具可用於精確蝕刻電介質、金屬、聚合物和氧化物。LAM RESEARCH Rainbow 4400采用雙淋浴頭設計,提高了工藝靈活性。雙淋浴頭設計具有低壓和高壓能力,允許更高的蝕刻速率和改進的邊緣控制。該蝕刻器還提供多脈沖蝕刻功能,允許對蝕刻工藝進行脈沖調制,並降低工藝溫度以提高產品質量。彩虹4400配備了板載粒子計數器,提供對蝕刻工藝及其結果的實時監控。粒子計數器集成到反饋控制環路中,確保達到最高的過程均勻性。此外,該工具還為視覺效果提供了一個顯示界面,並且可以遠程操作以增強可訪問性。LAM RESEARCH Rainbow 4400的設計也考慮到了安全性。該工具提供了完全集成的安全系統,包括環境、過程和軟件安全功能。該工具旨在滿足或超過最新的安全要求,並已通過UL和CE標準認證。這使操作員能夠放心地安全地利用工具的流程。Rainbow 4400是一種蝕刻器/asher,旨在提供精確可靠的工藝功能。該工具具有較高的蝕刻速率、改進的邊緣控制、多脈沖蝕刻、集成粒子計數器和實時監控。該工具還提供了完全集成的安全系統、符合UL和CE標準的認證以及遠程操作功能。LAM RESEARCH Rainbow 4400為當今的半導體晶圓制造行業提供了一種通用的蝕刻解決方案。
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