二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9226087 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4400是一款高性能的蝕刻器/asher,專為高級IC制造和包裝應用而設計。Rainbow 4400提供多種工藝能力，具有蝕刻和粉刷材料的能力，包括二氧化矽、氮化矽、聚酰亞胺、多矽酸鹽、多胺等等。它結合了一個高通量的高溫平臺和一個低kV離子束，用於精確的各向異性蝕刻。LAM RESEARCH Rainbow 4400由一個負載鎖、一個處理室、一個裝載站和一個主機組成。載荷鎖允許將基板裝卸到加工室，而不必減壓。該工藝室由渦輪分子泵排空，允許更高的吞吐量和更快的循環時間。裝載站裝有基板，並有一組升降機，用於在進行蝕刻時調整基板高度。主機裝有電源、射頻發電機和用於創建和維護工藝環境的真空設備。Rainbow 4400是一種多功能系統,可配置為在各種工藝配方中執行蝕刻、灰化或兩者兼而有之。也可用於進行高長寬比蝕刻和基板深度剖析。該單元最多可容納8英寸直徑的基板,可用於2D和3D蝕刻應用。它還能達到高達800 °C的溫度，可用於金屬層蝕刻。LAM RESEARCH Rainbow 4400配備了先進的用戶界面，方便設置和配方參數優化。它還具有實時顯示所有機器參數的功能，包括真空水平和泵速。其遠程診斷和維護功能允許LAM RESEARCH客戶服務團隊提供遠程服務和支持。除了先進的蝕刻功能外，Rainbow 4400還提供集成的光學控制工具。此資產允許用戶實時監視蝕刻配置文件,從而幫助優化蝕刻過程。這樣可以確保正確調整蝕刻參數以達到理想的結果。總體而言,LAM RESEARCH Rainbow 4400是一款功能強大的蝕刻器/asher型號,具有多種功能,非常適合高級IC制造和封裝應用。它具有高通量的高溫平臺,可實現精確的各向異性蝕刻,而其先進的光學控制設備有助於優化蝕刻過程。此外,它易於設置、實時顯示系統參數、遠程診斷和維護解決方案,可實現和維護可靠的流程結果。