二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9402502 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4400 蝕刻器/asher是一種單晶片、平行板蝕刻器/asher，設計用於處理多種基材，包括矽、SiGe等材料。彩虹4400提供向晶片精確輸送等離子體和反應性氣體，同時嚴格控制等離子體和氣源的濃度和流量。該工藝設備允許對包括MOSFET、MEMS和IC在內的結構進行成本效益高的高級蝕刻。LAM RESEARCH Rainbow 4400配備了兩個8英寸井，分別用於兩個獨立的等離子源和四個端口，用於獨立控制反應性氣體。它具有高達5 kW的電源，可配置以容納各種等離子體化學物質。RF和DC可用，最大頻率為13.56 MHz。Rainbow 4400可提供5x10-5 Torr的真空級別。LAM RESEARCH Rainbow 4400提供對等離子體的精確控制,允許一致的蝕刻/灰化結果。它可以完全自動化或手動操作,可以靈活地滿足客戶的需求。此外,Rainbow 4400還采用了專利、低顆粒、高通量的AerosolQuartz®晶圓處理組件,以確保可重復處理。整體而言，LAM RESEARCH Rainbow 4400是一款可靠的蝕刻/粉碎機，用於各種材料加工。結果一致且可重復，價位具有競爭力。它對蝕刻參數的高級控制允許改進MOSFET、MEMS和IC的處理。此外，氣溶膠石英晶片處理組件降低了復雜系統的汙染風險。