二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9169550 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4400B是一個高度先進且用途廣泛的蝕刻器/asher系統,專為高精度應用而設計。它具有先進的線性RF/DC/TiB等離子體源，能夠產生高通量的優越蝕刻效果。它提供了一系列工藝參數和能力，以確保在半導體晶圓、微流體、MEMS和相關設備制造領域的精確和可重復的結果。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B專為各種需要深層或輪廓蝕刻的蝕刻應用而設計。它利用最新的高功率技術來捕獲和最大化產量,減少周期時間並提高產品產量。其線性RF/DC/TiB源具有6kW的峰值額定功率,工件溫度可達300 °C,溫度範圍可達180 °C。Rainbow 4400B利用獨特的不透明陶瓷基板敏感劑及其先進的等離子體源，可靠地蝕刻各種介電、金屬、聚合物和玻璃基板。其先進的控制和安全系統保護用戶和蝕刻模式的完整性。它支持多種自動化過程，包括反應性離子蝕刻（RIE）、非反應性離子蝕刻（NRIE）、感應耦合等離子體（ICP）蝕刻和灰化。它能夠提供多級配置文件,並且可以產生各種過程結果,例如形狀或表單。此外，RAINBOW 4400 B提供了廣泛的高級特性和配件，以提高其效率。其中包括可編程真空和氣體輸送系統、改進流程優化的集成工作站以及用於捕獲和驗證剖面結果的自動化測量系統。該系統還與多個第三方進程控制器和軟件應用程序兼容。LAM RESEARCH Rainbow 4400B具有高精度、多功能性和高級功能,可在廣泛的蝕刻應用中提供卓越的性能和可靠的結果。對於那些在生產半導體、MEMS和其他元件方面尋求優越蝕刻效果的人來說，這是一個理想的解決方案。