二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9176765 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4400B是一款先進的蝕刻和灰化設備，旨在為半導體制造商提供增強的工藝性能、均勻性和靈活性。該系統具有高性能、多軸平臺以及各種可配置的模塊和組件,以確保針對物理化學加工、設備制造、電光電和MEMS應用的優化蝕刻和灰化解決方案。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B具有多種氣體控制選項，允許實時、高精度的過程控制。其先進的智能質量流量控制器（MFC）能夠實時調節和監測多達八種不同氣體的壓力、流量和其他參數,而不會影響電源。這樣可確保最大程度的流程靈活性、可重復性和總體高性能結果。該單元由具有高級診斷和數據分析工具的觸摸屏人機界面（HMI）控制。它還擁有廣泛的可自定義的工藝配方，使蝕刻和灰化機可以很容易地適應各種半導體配置。可編程的復雜軟件驅動程序執行計算和校正,以確保優化的蝕刻可縮短處理時間並提高產量。Rainbow 4400B提供高度精確的自動化晶片處理和傳輸系統、車載過程監視器以及高級故障診斷功能。其自校準工具和多重安全功能確保了最佳的過程控制、穩定性和安全性。該資產能夠在一次運行中處理多達100個晶圓,並提供可選的自動清潔功能,以確保無懈可擊的設備制造結果。RAINBOW 4400 B提供各種附加組件,用於根據特定的應用程序、過程或要求定制蝕刻和灰化室。它還具有高精度端點檢測模型，能夠以精確的精度和可重復性控制和監測蝕刻和灰化過程。先進的設備設計和構造提供了出色的蝕刻和ashing多功能性和性能，同時確保準確，一致的結果。