二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9364650 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4400B是一款可靠可靠的等離子體蝕刻器，設計用於各行業的精密等離子體蝕刻和灰化工藝。它是一個單一的晶片工具,能夠在高達850°C的溫度下預處理和蝕刻基板,並且功能尺寸可降至10nm。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B具有無與倫比的蝕刻性能,它配備了光束線陰極設備,具有卓越的均勻性和高通量能力,以及先進的靈活配方和直觀的用戶界面。彩虹4400B配備了廣泛的可配置蝕刻參數，可以針對每一個工藝進行調諧，包括工作氣體、氣壓、氣速、脈沖寬度、脈沖重復頻率等等。該工具還擁有獨特的等離子體控制算法，以幫助保持高離子能量和一致的蝕刻速率。它還具有全自動測量系統,可以檢測和調整過程波動,確保最高處理精度和可重復性。除了高工藝精度和可重復性之外,RAINBOW 4400 B還提供了旨在最大限度地提高設備正常運行時間的功能,包括快速輕松的設置、維護良好的支持機器以及方便更換的部件。它還具有內置的安全功能，包括一個敏感的光學監控工具，不斷監控基板蝕刻質量和工藝穩定性。LAM RESEARCH Rainbow 4400B還通過為氣體成分和安全限值調整提供具有獨立報警限值的可編程廢氣資產來確保安全。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B是一款可靠可靠的等離子體蝕刻器,具有優異的蝕刻性能、更高的工藝精度和可重復性,以及最大的模型正常運行時間,是各行業廣泛的蝕刻和加工應用的理想選擇。