二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9402503 待售
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LAM RESEARCH Rainbow 4400B Etcher/Asher是為半導體工業設計的單晶片濕清洗設備。它是LAM RESEARCH Rainbow系列產品中的入門級機型,具有一流的性能和緊湊的占地面積。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B提供了一個緊湊且經濟實惠的單晶圓平臺,具有廣泛的工藝模塊功能和易於配置的工藝參數,能夠提供超低缺陷級別。彩虹4400B配備了多種技術,如高速晶片攪拌、氧蝕刻和氯蝕刻、推進氧化物蝕刻、金屬各向異性蝕刻等,方便了多種材料的廣泛集成工藝。該系統采用徑向板組件,在晶片進出工藝模塊時同時攪拌晶片,提供均勻的表面處理和缺陷控制。該系統還具有專有的基板卡盤,可確保高產量的輸出和可靠的性能。RAINBOW 4400 B無與倫比的集成平臺提供高吞吐量、卓越的流程一致性和可靠的運行,同時提供低擁有成本。這是晶圓制造和其他生產活動的理想平臺,在這些活動中,優越的產量性能、可靠性和靈活性至關重要。LAM RESEARCH Rainbow 4400B是一種高度可靠和高效的工具,可用於挑戰要求最高生產率和產量的應用程序。它具有廣泛的流程功能和易於配置的流程參數,使其在一系列應用程序中用途廣泛且經濟實惠。適用於濕蝕刻、清潔、薄膜沈積,以及抗灰泥等工藝。此外,它的高級流程控制功能和基於軟件的診斷使它能夠提供易於使用的流程配方,以實現未來的靈活性和可擴展性。該系統還提供光學發射光譜等高級過程監測功能,使其能夠快速識別過程相關故障,並相應調整過程參數。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B的靈活性和可擴展性使其成為過程密集型和多應用程序應用的理想選擇。
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