二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293587259 待售

LAM RESEARCH 4420是針對高長寬比結構基板加工優化的先進蝕刻/灰分工具。這種蝕刻機非常適合具有多層沈積要求的應用，如深溝蝕刻和絕緣體上的矽（SOI）。它能夠蝕刻和沈積多達15層溫度敏感材料，並且能夠支持對高達1 µm深的溝槽進行蝕刻。LAM RESEARCH 4420采用最先進的設計,確保蝕刻/灰燼工藝的均勻性和穩定性,同時允許精確定制的工藝控制。它由一個可變壓力（VP）物理氣相沈積（PVD）室和一個可變電容等離子體源（VCPS）進行蝕刻而成。這種先進的蝕刻機可提供低離子汙染、高均勻性和優異的選擇性。腔室提供溫度穩定的環境，允許獨立控制蝕刻速率、選擇性和均勻性。VCPS提供高蝕刻速率和惰性蝕刻停止功能,以確保可重現蝕刻/灰分。4420還配備了先進的冷卻技術，並得到了LAM的氘均勻型材服務的支持。4420在所有蝕刻和沈積工具中提供了廣泛的可重復、高保真的工藝能力，包括濺射、物理氣相沈積（具有可變功率的PVD）、金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）、離子植入、濕蝕刻、幹蝕刻和幹凈功能。其直觀的控制器和直觀的用戶界面方便了流程參數的自定義。LAM RESEARCH 4420蝕刻器-asher還設計用於適應困難幾何中的無邊界蝕刻，以及具有高均勻性和可重復性的多級蝕刻。這為膜結構、3 D幾何形狀、集成的導線和通孔以及互連提供了最大的設計靈活性。此外，內置的聚焦離子束（FIB）用於微調和後蝕刻過程分析。該蝕刻機是半導體生產設備改性、TFT成型和工藝優化的理想選擇。最先進的控制和監測系統確保了可靠的蝕刻灰操作和產量。