二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293592003 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是一個多功能蝕刻/灰燼平臺,為幹式和濕式蝕刻應用提供市場領先的功能。該設備設計為提供最佳工藝性能,具有可容納4英寸晶片的銑削室,是生產工藝的理想選擇。此外,該系統還配備了可編程的機械臂,用於精確的零件處理,並具有先進的運動單元,可實現快速、精確的頭部定位,以實現最終的可重復性。Rainbow 4420平臺由一個經過驗證的基於Quartz的RIE/RIB-POST混合控制平臺提供支持,該平臺為蝕刻技術和灰燼技術提供了強大而用戶友好的控制。該機器配有內置的蝕刻和灰分工藝電源，最多可提供8種蝕刻和灰分預編程工藝配方。這些食譜可以進行微調，以適應不同的工藝要求，並允許易於集成和定制食譜。除了銑削功能外,LAM RESEARCH Rainbow 4420還提供了許多創新功能,例如高級晶片處理、音高補償、激光燒蝕功能,以及允許在單個作業中執行多批晶片的瞬態模式。此外,該工具的高級軟件還提供了配方參數的自動調整和實時過程監控,從而確保了一致的高質量性能。Rainbow 4420平臺非常適合半導體制造和光掩模制造過程,其集成的幹蝕刻技術可提高吞吐量、提高質量和降低單位成本。該平臺因提供行業領先的蝕刻/灰分應用技術而得到認可，適合用於生產微電子和媒體行業的各種產品以及用於研發。