二手 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293595155 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4420是為晶圓處理應用而開發的先進蝕刻/asher設備。該系統提供了卓越的工藝能力,實現了卓越的表面光潔度和精確度的蝕刻輪廓.借助其車載計算機，Rainbow 4420能夠以精確和可重復的均勻性處理高達每小時600個晶圓。LAM RESEARCH Rainbow 4420采用全鋼框架設計,提供出色的抗徑向振動保護,並提供一系列運動,使所有工廠參數都能精確校準和調整。這確保了精度和可重復性，即使在處理高密度晶片時也是如此。其雙束激光電池設計允許同時蝕刻兩個晶片，提高吞吐量效率，降低成本。彩虹4420還結合了具有4軸運動能力和高速軸承的先進運動控制，為用戶提供了蝕刻輪廓的卓越精度和可重復性。它有一個高效的排氣疏散裝置，以確保安全運行，並消除晶圓汙染的可能性。提供了一個綜合維護監控機器，以自動檢測任何問題並向用戶發出警報，以便及時采取適當的糾正措施。LAM RESEARCH Rainbow 4420還配備了業界領先的端點控制工具，以實現一致且可重復的端點精度。這一資產允許快速確定不僅是種子晶片或蒙面晶片的合適蝕刻限值，而且是鋁、銅、鈦等多種金屬的合適蝕刻限值。一個RAIS（共振聲學成像模型）也被集成到設備中，對每個晶片模具經過處理後進行現場檢查，驗證過程的均勻性。Rainbow 4420先進的激光標記系統支持晶圓跟蹤,並允許大幅降低成本和實驗室時間,因為不需要額外的外部識別步驟。最後，該單元通過以太網連接到遠程機器控制位置，為用戶提供了一系列的監控能力。這些功能允許進行擴展的過程監視、特定的參數調整以及遠程診斷和數據收集以進行全面的故障排除。